+44 (0)1254 295400

Plasmabeständigkeit von Elastomeren

Wie wählen Sie den richtigen O-Ring-Dichtungswerkstoff aus?

Plasmabeständigkeit in gängigen Prozesschemikalien

Um genaue Werkstoffempfehlungen für spezifische Halbleiter-Plasmaverfahren aussprechen zu können, hat PPE eine Vielzahl von Elastomerwerkstoffen getestet, darunter auch jene anderer Werkstoffhersteller.

Die Verbindungen wurden verschiedenen Plasmaumgebungen ausgesetzt, die gemeinhin bei Ätzverfahren und der Reinigung von Abscheidekammern zum Einsatz kommen. Elastomerwerkstoffe können unterschiedliche Beständigkeit gegenüber bestimmten Prozesschemikalien zeigen und werden im Allgemeinen durch die Verwendung einer spezifischen Art von Verstärkungs- oder Füllersystem und mit erhöhten Mengen Füllmaterial verbessert. Die Wahl des Werkstoffs kann auch von einigen anderen Faktoren abhängen, wie z. B. der Erfüllung bestimmter mechanischer Voraussetzungen, der Empfindlichkeit des Geräts gegenüber Spurenmetallverunreinigungen sowie von der Größe und Art der Füllerpartikel.

Genaue Daten führen zu den folgenden Vorteilen:

  • Ein relativer Vergleich der Werkstoffleistung und Lebensdauer, auf den Sie Ihre Wahl stützen können
  • Einsparung von Zeit und Anstrengung bei der Erforschung und Qualifizierung neuer Werkstoffe
  • Verringerung des Risikos, den falschen Werkstoff zu wählen.

Die nachstehende Tabelle zeigt eine Zusammenfassung der Erosionsraten von PPE-Werkstoffen in vier handelsüblichen Plasmaumgebungen.

ChemiePlasma-
Quelle
FKM
V75C
Kimura
K13X
Nanofluor
Y75N
Perlast
G75B 
Perlast
G76W 
Kimura
K2CD
Perlast
G75H 
Perlast
G74P
Perlast
G67P
Perlast
G100XT 
Füllersystem AnorganischOrganisch selbstverstärkendOrganisch NanoCarbon BlackAnorganischOrganisch selbstverstärkendAnorganischOrganisch NanoOrganisch NanoOrganisch Nano
 O2Parallelplatte, kapazitiv
gekoppelt
 2 5 6 4 1 7 3 8 9 10
 Cl2 + BCl3
+ HBr
Remote induktiv gekoppeltes Plasma 3 6 5 7 2 4 1 910 8
 SF6 + O2Remote induktiv gekoppeltes Plasma 4 5 6 1 2 7 3 8 9 10
 F – radicalRRemote induktiv gekoppeltes Plasma 5 9 10 1 3 4 2 6 7 8
Spurenmetallgehalt  H F D J I E G A B C

Legende:
1 = Am besten (niedrigste Erosionsrate), 10 = Am schlechtesten (höchster Spurenmetallgehalt (ppb))
A = Am besten (niedrigster Spurenmetallgehalt (ppb)), J = Am schlechtesten (höchster Spurenmetallgehalt (ppb)) 
Die Werkstoffe sind nach zugehörigem Preis geordnet, aufsteigend von links nach rechts.

  • Es wurden Remote-Quellenprüfungen in verschiedenen Prozessvorrichtungen von Oxford Instruments Plasma Technology durchgeführt. Es wurden zwei unterschiedliche Quellentypen verwendet, abhängig von der chemischen Umgebung.
  • Der F-Radikal-Prozess wurde in einer wesentlich kleineren, induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) durchgeführt, was zu einem höheren Verlust von Ionen an die Wände und infolgedessen zu einem höheren Radikal-zu-Ionen-Verhältnis führte.
  • Auf keines der Prüfmuster wurde eine Vorspannung angelegt, um die Bedingungen, denen ein O-Ring oder eine Dichtung in einer Nut wie in einer Kammerdeckeldichtung ausgesetzt wäre, so real wie möglich nachzustellen.

Sie möchten sich die Ergebnisse genauer ansehen oder mehr erfahren?
Kontaktieren Sie unsere Experten!. Sie werden Ihnen die Prüfergebnisse gerne zukommen lassen.

Dokumente herunterladen
Dokument Beschreibung Download
Studie Reinheit oder Plasmabeständigkeit – ist beides möglich? Download File
Studie Zerstörerische Verbrauchsmaterialien: Wie sauber sind Ihre Dichtungen? Download File
Technische Informationen Plasmabeständigkeit – Nanofluor Y75G Download File
Broschüre Dichtungslösungen für Halbleiter Download File
Abonnieren Sie den vierteljährlichen Newsletter von PPE, damit Sie immer frühzeitig über alle Neuigkeiten informiert werden
Danke, dass Sie den Newsletter abonniert haben.

Zunächst benötigen wir einige Angaben von Ihnen

Geben Sie eine gültige E-Mail-Adresse ein, um auf das Datenblatt zuzugreifen.

* Keine Sorge, wir werden Sie nicht spammen und Sie können sich jederzeit abmelden