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Thermische Verfahren

Bei wärmeabhängigen Anwendungen werden Dichtungswerkstoffe benötigt, die außer sehr spezifischen Voraussetzungen an die Chemikalienbeständigkeit auch gute mechanische Eigenschaften aufweisen müssen, wie beispielsweise einen niedriger Druckverformungsrest oder Druckspannungsabbau. Für Verfahren wie ALD, LPCVD, SACVD, Glühen und Oxidieren sind Dichtungsmaterialien erforderlich, die dauerhaft hohen Temperaturen standhalten können. Bei diesen Verfahren kommen oftmals Sauerstoff, Ozon oder eine Kombination aus Ozon und hochenergetischer UV-Strahlung zum Einsatz, wie beim Transistor-Strain-Engineering, FCVD und bei der Low-k-Verarbeitung.

Die richtige Auswahl der von PPE empfohlenen Produkte birgt folgende Vorteile:

  • Kostenoptimierte Empfehlung je nach Anwendung
  • Geringer Druckverformungsrest
  • Längere Lebensdauer bei aggressiven Verfahren mit UV-Aushärtung
  • Niedrige Erosionsraten
  • Geringe Spurenmetallgehalte an entscheidenden Stellen
  • Niedrige Partikelfreisetzung an entscheidenden Stellen
  • Minimale Auswirkungen auf die Ausbeute der Geräten und der elektrischen Energie
  • Geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien (CoC)

In der nachstehenden Tabelle finden Sie die von PPE empfohlenen und kompatiblen Elastomerwerkstoffklassen.  Die primären Klassen sind auf kritische Systeme/Werkzeug-Locations ausgerichtet.  Weiterführende Unterstützung bei der richtigen Auswahl von Dichtungen erhalten Sie beim Vertriebspartner in Ihrer Nähe.

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Verfahren/AnwendungTemperatur-
bereich
ProzessmedienPrimär-
Werkstoffe
Vergleichbare
Werkstoffe
Anmerkungen
Metall-CVD
ALD
LPCVD
25 – 200° C
Organische Vorprodukte, WF6, TiCl4, SiH4, SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4, Ar, N2, H2, NH3, HF, HCl, F2, Cl2, CIF3, NF3, H2O-Dampf, O2, O3 G75B, G75H, K2CDG67G, G76W, K13X, V75PG75B für Dichtungsanwendungen bei höchsten Temperaturen empfohlen.


SACVD25 – 200 °C
TEP, TEBO, TEOS, O3, O2, N2, NF3G75B, G75H, G65HP G67G, G70H, G76W
Oxidation-Diffusion100 – 300 °C
N2, O2, H2O, POCl3, BBr3, PH3, B2H6, HCl, Cl2G75B, G75H, K2CDG65HP, G70H, G76W, V75P
RTP und
Thermische Oxidation
100 – 300 °C
IR-Strahlung, O2, DampfG75B, K13X, G75HG76G, G67P, G74P, G75M
UV-Aushärtung100 – 300 °C
N2, Ar, O2, O3G67G, G70HY75G, G76W, G75HG67G für alle kritischen Stellen empfohlen
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