Verunreinigungen durch Spurenmetalle
Wie sauber sind Ihre Dichtungen und O-Ringe?
Wie hoch ist der Spurenmetallgehalt von Elastomerwerkstoffen an den kritischen Stellen Ihres Prozess-Tools?
Die Verunreinigung durch Partikel und metallische Ionen ist eine permanente Gefahr bei der Herstellung von Halbleitergeräten. Je kleiner das Bauteil, desto größer ist das Risiko von Schäden und erhöhten Kosten, da das tolerierbare Maß einer Verunreinigung sinkt.
Bei der Auswahl von Elastomerwerkstoffen für kritische Anwendungen müssen Bauteilhersteller sicherstellen, dass sie geeignete Materialien mit extrem niedrigem Gehalt an Spurenmetallen wählen, um Kontaminationen und Bauteilzerstörungen zu vermeiden.
Analyse des Spurenmetallgehalts
An einem spezialisierten externen Prüfstand wurden 22 unterschiedliche Elastomerwerkstoffe von verschiedenen Herstellern/Anbietern, die ihre Produkte speziell für Halbleiteranwendungen vermarkten, auf den Spurenmetallgehalt hin analysiert. Für das Analyseverfahren wurde die induktiv gekoppelte Plasma-Massenspektrometrie (ICP-MS) zur Ermittlung niedriger und extrem niedriger Niveaus metallischer Verunreinigungen verwendet, bis hin zu parts per billion (ppb). Metallische Verunreinigungen wie Natrium (Na), Calcium (Ca), Kalium (K), Magnesium (Mg), Titan (Ti) uvm. wurden gemessen und verglichen.
Welche Elastomerwerkstoffe waren also die reinsten?
Sie möchten mehr darüber erfahren? Nachstehend finden Sie die Ergebnisse zum Herunterladen.
Was können wir für Sie tun? Kontaktieren Sie uns, um Ihre Hochreinheits- und Dichtungsanforderungen mit uns zu besprechen.
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| Dokument | Beschreibung | Download | |
|---|---|---|---|
| Technische Studie | Zerstörerische Verbrauchsmaterialien: Wie sauber sind Ihre Dichtungen? | ||
| Technische Informationen | Metall-IONEN-Kontamination in Elastomeren | ||
| Broschüre | Dichtungslösungen für Halbleiter, Flachbildschirme (FPD) und Solarzellen |