Thermische Verfahren
Bei wärmeabhängigen Anwendungen werden Dichtungswerkstoffe benötigt, die außer sehr spezifischen Voraussetzungen an die Chemikalienbeständigkeit auch gute mechanische Eigenschaften aufweisen müssen, wie beispielsweise einen niedriger Druckverformungsrest oder Druckspannungsabbau. Für Verfahren wie ALD, LPCVD, SACVD, Glühen und Oxidieren sind Dichtungsmaterialien erforderlich, die dauerhaft hohen Temperaturen standhalten können. Bei diesen Verfahren kommen oftmals Sauerstoff, Ozon oder eine Kombination aus Ozon und hochenergetischer UV-Strahlung zum Einsatz, wie beim Transistor-Strain-Engineering, FCVD und bei der Low-k-Verarbeitung.
Die richtige Auswahl der von PPE empfohlenen Produkte birgt folgende Vorteile:
- Kostenoptimierte Empfehlung je nach Anwendung
- Geringer Druckverformungsrest
- Längere Lebensdauer bei aggressiven Verfahren mit UV-Aushärtung
- Niedrige Erosionsraten
- Geringe Spurenmetallgehalte an entscheidenden Stellen
- Niedrige Partikelfreisetzung an entscheidenden Stellen
- Minimale Auswirkungen auf die Ausbeute der Geräten und der elektrischen Energie
- Geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien (CoC)
In der nachstehenden Tabelle finden Sie die von PPE empfohlenen und kompatiblen Elastomerwerkstoffklassen. Die primären Klassen sind auf kritische Systeme/Werkzeug-Locations ausgerichtet. Weiterführende Unterstützung bei der richtigen Auswahl von Dichtungen erhalten Sie beim Vertriebspartner in Ihrer Nähe.
| Verfahren/Anwendung | Temperatur- bereich | Prozessmedien | Primär- Werkstoffe | Vergleichbare Werkstoffe |
| Metall-CVD ALD LPCVD | 25 – 300° C | Organische Vorprodukte, WF6, TiCl4, SiH4, SiHCl3, SiH2Cl2, SiCl4, Ar, N2, H2, NH3, HF, HCl, F2, Cl2, CIF3, NF3, H2O-Dampf, O2, O3 | G7HA | G75H, G70H, G75B |
| SACVD | 25 – 300 °C | TEP, TEBO, TEOS, O3, O2, N2, NF3 | G7HA, G65HP | G70H, G75B, G75H |
| Oxidation-Diffusion | 100 – 300 °C | N2, O2, H2O, POCl3, BBr3, PH3, B2H6, HCl, Cl2 | G7HA, G75H | G65HP, G70H, G75B |
| RTP und Thermische Oxidation | 100 – 300 °C | IR-Strahlung, O2, Dampf | G65HP, G75B | G7HA, G75H, G70H |
| UV-Aushärtung | 100 – 300 °C | N2, Ar, O2, O3 | G75H, G70H | G76W |