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Webinar: „Reinheit oder Plasmabeständigkeit – geht beides?

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Datum: 8. November 2017

Zeit: 10:00 Uhr EST (07:00 PST)

Dauer: 1 Std.

Überblick

Während des gesamten Ablaufs der Halbleiter-Fertigung kann eine Verunreinigung durch Partikel die Ausbeute und damit die Rentabilität bedeutend gefährden. Dieses Seminar befasst sich mit der wichtigen Rolle der Elastomere für eine hohe Ausbeute bei Halbleiter-Fertigungsprozessen und erläutert, wie der richtige Dichtungswerkstoff die Vakuumdichtheit aufrechterhalten kann.

Schlüsselpunkte:

  • Erfahren Sie mehr über das Verhalten von elastomeren Dichtungswerkstoffen in verschiedenen Plasmaumgebungen und -gasen.
  • Informieren Sie sich über die Bedeutung verschiedener Füllstoffarten und die Dispersion von Füllstoffpartikeln in Elastomerwerkstoffen.
  • Entdecken Sie Lösungen zur Minimierung der Partikelbildung sowie von Elastomerdichtungen verursachten Verunreinigungen.
  • Alles Wissenswerte über das Preis-Leistungs-Verhältnis bei Perfluorelastomeren (FFKM) und Fluorelastomeren (FKM).

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