Datum: 8. November 2017
Zeit: 10:00 Uhr EST (07:00 PST)
Dauer: 1 Std.
Überblick
Während des gesamten Ablaufs der Halbleiter-Fertigung kann eine Verunreinigung durch Partikel die Ausbeute und damit die Rentabilität bedeutend gefährden. Dieses Seminar befasst sich mit der wichtigen Rolle der Elastomere für eine hohe Ausbeute bei Halbleiter-Fertigungsprozessen und erläutert, wie der richtige Dichtungswerkstoff die Vakuumdichtheit aufrechterhalten kann.
Schlüsselpunkte:
- Erfahren Sie mehr über das Verhalten von elastomeren Dichtungswerkstoffen in verschiedenen Plasmaumgebungen und -gasen.
- Informieren Sie sich über die Bedeutung verschiedener Füllstoffarten und die Dispersion von Füllstoffpartikeln in Elastomerwerkstoffen.
- Entdecken Sie Lösungen zur Minimierung der Partikelbildung sowie von Elastomerdichtungen verursachten Verunreinigungen.
- Alles Wissenswerte über das Preis-Leistungs-Verhältnis bei Perfluorelastomeren (FFKM) und Fluorelastomeren (FKM).
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