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Monovat Absperrschieber

MONOVAT® Absperrschieber mit Elastomerdichtungen aus Perlast®, Kimura® und Nanofluor® sorgen für eine verbesserte Leistung

MONOVAT® Absperrschieber werden oftmals für Halbleiter-Tool-Plattformen verwendet. MONOVAT® Absperrschieber mit PPEs einzigartigen Elastomeren in Halbleiterqualität Perlast®Kimura® und Nanofluor® sorgen für eine verringerte Partikelbildung, verbesserte Ausbeute und niedrigere Betriebskosten.

Merkmale von MONOVAT® Absperrschiebern mit Werkstoffen von PPE:

  • In unterschiedlichen Größen und Profilen für verschiedene Halbleiter-Produktions-Plattformen erhältlich.
  • Ein umfangreiches Sortiment an Dichtungsprofilen, die auf die Verringerung örtlich begrenzter Belastungen ausgerichtet sind, was zu einer verbesserten Dichtungsleistung und längerer Lebensdauer führt.
  • Höchstmaß an Plasma- und Chemikalienbeständigkeit
  • UItrareine Elastomere minimieren die Partikelbildung in Verarbeitungsumgebungen

Fallstudie Perlast® G67P auf MONOVAT® erzielt 3-fachen Anstieg der Wafer-Ausbeute

Ein großer asiatischer Halbleiterhersteller hatte Probleme mit Verunreinigungen und einer schlechten Wafer-Ausbeute bei einem Nieder-K CVD Prozess auf einem Producer®-Tool. Die dynamischen MONOVAT® Absperrschieber waren mit einem herkömmlichen weißen FFKM-Werkstoff versehen, und die Absperrschieber mussten all 15.000 bis 30.000 Wafer ausgetauscht werden. 

Seit der Verwendung von MONOVAT® Absperrschiebern mit Perlast® G67P erzielt dieser Chip-Hersteller eine Ausbeute von über 90.000 Wafern, was eine erhebliche Kosteneinsparung darstellt. Dies demonstriert die hochreine Werkstoffzusammensetzung, die hervorragende Chemikalienbeständigkeit und die außerordentlichen mechanischen Eigenschaften von Perlast® Werkstoffen.

Was können wir für Sie tun?  Kontaktieren Sie uns mit Ihren Anforderungen an MONOVAT Absperrschieber.

MonoVat® ist eine eingetragene Marke der VAT Vakuumventile AG.

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