Perlast G65HP
Perlast® G65HP weist eine einzigartige organische Formulierung auf, die speziell für kritische Halbleiterprozesse entwickelt wurde, bei denen die Dichtungen direkt mit Plasma in Kontakt kommen. Diese neue Werkstoffklasse zeigt eine hervorragende Beständigkeit in Plasma mit einer hohen Konzentration an Fluor-Radikalen wie auch in anderen Plasmaumgebungen.
- Vollständig organische Struktur – Perlast® G65HP minimiert das Risiko der Partikelbildung
- Spurenmetallgehalt von weniger als 10.000 Teilen pro Milliarde
- Hervorragende Beständigkeit gegenüber Fluor-, Chlor- und Sauerstoffplasma
- Hervorragende generische Chemikalienbeständigkeit
- Sehr geringes Risiko der Partikelbildung
- Gute mechanische Eigenschaften
- Geringe Ausgasungseigenschaften
Vorteile:
- Verlängerte Wartungszyklen.
- Ideal für Hersteller von Geräten für Knotenpunkte fortschrittlicher Technologien
- Gewährleistung der Integrität elektrischer Spezifikationen von Geräten
- Minimales Versagen der Ausfallsicherheit
Grafik oben: Testergebnisse zeigen immer wieder, dass Perlast® G65HP der plasmabeständige Werkstoff mit der besten Leistungsfähigkeit ist.
Typische Anwendungen
Für die Verwendung in verschiedenen kritischen Halbleiteranwendungen entwickelt. Geeignet für die Verwendung bei nassen und trockenen Halbleiterprozessen, einschließlich:
| Typische Anwendungen | Plasmaätzen | Asche-/Resist-Stripping | LPCVD, HDPCVD, PECVD, SACVD, ALD | Reinigung | PVD |
| Dynamische Dichtungen | Einvulkanisierte Absperrschieber und Absperrventile | Pendelventile | |||
| Statische Dichtungen | Kammer-O-Ringe | Gaseinlassdichtungen | Gasdurchgangsdichtungen | Kammerdeckeldichtungen usw. NW/KF-Armaturen |
Precision Polymer Engineering bietet nicht nur Dichtungsmaterialien, sondern auch maßgefertigte technische Lösungen für kritische Dichtungsanwendungen an, um die Unversehrtheit und Langlebigkeit der Abdichtungen zu maximieren. Auf diese Weise werden die Kosten für Verbrauchsartikelmaterial gesenkt und das langfristige Potenzial für Aftermarket-Verkäufe gesteigert.
Was können wir für Sie tun? Kontaktieren Sie uns, um Ihre Dichtungsanforderungen fürHalbleiter mit uns zu besprechen.
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FFKM-Sanitärdichtungen
FFKM-Sanitärdichtungen sind vollständig fluoriert und wurden zur Bewältigung spezifischer Dichtungsherausforderungen in der Lebensmittel-, Molkerei-, Pharma- sowie der biomedizinischen und der Life-Science-Branche konzipiert.
Perlast®, das ultimative Perfluorelastomer (FFKM), eignet sich ideal für SIP- und CIP-Reinigungsverfahren. FFKM-Sanitärdichtungen wurden für Dichtungsanwendungen entwickelt, bei denen die Beständigkeit gegenüber Chemikalien und hohen Temperaturen entscheidend ist. Sie halten Dampf, Aminen und Lösungsmitteln stand.
Das einzigartige Vernetzungssystem, das bei allen Perlast® Klassen zum Einsatz kommt, gewährleistet die Kompatibilität mit nahezu allen Chemikalien. Die Molekülstruktur der Perlast® Perfluorelastomere ähnelt derjenigen von PTFE und bietet eine hervorragende Wärme- und Chemikalienbeständigkeit. Dies ermöglicht es Nutzern, sich für eine einzige Werkstoffklasse zu entscheiden, die alle Anwendungen abdeckt.
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Metalldetektierbare Sanitärdichtungen
Detectaseal® ist ein Sortiment metalldetektierbarer Elastomerverbindungen, die speziell für die strengen Anforderungen in der Pharmazie und bei der Lebensmittelverarbeitung entwickelt wurden. Detectaseal® Sanitärdichtungen wurden in branchenführenden Betrieben für die Herstellung von Pharmazeutika und Lebensmittelerzeugnissen getestet und haben sich in der Praxis bewährt. Fragmente von Detectaseal® mit einer Größe von lediglich 2 mm lassen sich mit Metalldetektionsgeräten ermitteln.
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BS 4825 Größen für Sanitärdichtungen
BS 4825 Sanitärdichtungen
Nenngröße C E/S 25,4 mm 1 Zoll 22,8 mm 50,5 mm 38,1 mm 1 1/2 Zoll 35,5 mm 50,5 mm 50,8 mm 2 Zoll 48,2 mm 64 mm 63,5 mm 2 1/4 Zoll 60,5 mm 77,5 mm 76,2 mm 3 Zoll 73,2 mm 91 mm 101,6 mm 4 Zoll 97,8 mm 119 mm 114,3 mm 4 1/2 Zoll 110,5 mm 130 mm 139,7 mm 5 1/2 Zoll 135,9 mm 155 mm 168,3 mm 6 5/8 Zoll 163,3 mm 183 mm 219,1 mm 8 5/8 Zoll 214,1 mm 233,5 mm -
DIN 32676 Größen für Sanitärdichtungen
DIN 32676 Sanitärdichtungen
Nenngröße C E/S 10 mm 10,2 mm 34 mm 15 mm 16,2 mm 34 mm 20 mm 20,2 mm 34 mm 25 mm 26,2 mm 50,5 mm 32 mm 32,2 mm 50,5 mm 40 mm 38,2 mm 50,5 mm 50 mm 50,2 mm 64 mm 65 mm 66,2 mm 91 mm 80 mm 81,2 mm 106 mm 100 mm 100,2 mm 119 mm 125 mm 125,2 mm 155 mm 150 mm 150,2 mm 183 mm 200 mm 200,2 mm 233,5 mm -
ISO 2852 Größen für Sanitärdichtungen
ISO 2852 Sanitärdichtungen
Nenngröße C S 12 mm 10,2 mm 34 mm 12,7 mm 10,9 mm 34 mm 17,2 mm 15,4 mm 34 mm 21,3 mm 19,5 mm 34 mm 25 mm 22,8 mm 50,5 mm 33,7 mm 31,5 mm 50,5 mm 38 mm 35,8 mm 50,5 mm 40 mm 37,8 mm 64 mm 51 mm 48,8 mm 64 mm 63,5 mm 60,5 mm 77,5 mm 70 mm 67 mm 91 mm 76,1 mm 73,1 mm 91 mm 88,9 mm 85,1 mm 106 mm 101,6 mm 97,8 mm 119 mm 114,3 mm 110,5 mm 130 mm 139,7 mm 135,9 mm 155 mm 168,3 mm 163,3 mm 183 mm 219,1 mm 214,1 mm 233,5 mm
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