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Perlast G65HP

Perlast® G65HP weist eine einzigartige organische Formulierung auf, die speziell für kritische Halbleiterprozesse entwickelt wurde, bei denen die Dichtungen direkt mit Plasma in Kontakt kommen. Diese neue Werkstoffklasse zeigt eine hervorragende Beständigkeit in Plasma mit einer hohen Konzentration an Fluor-Radikalen wie auch in anderen Plasmaumgebungen.

  • Vollständig organische Struktur – Perlast® G65HP minimiert das Risiko der Partikelbildung
  • Spurenmetallgehalt von weniger als 10.000 Teilen pro Milliarde
  • Hervorragende Beständigkeit gegenüber Fluor-, Chlor- und Sauerstoffplasma
  • Hervorragende generische Chemikalienbeständigkeit
  • Sehr geringes Risiko der Partikelbildung
  • Gute mechanische Eigenschaften
  • Geringe Ausgasungseigenschaften

Vorteile:

  • Verlängerte Wartungszyklen.
  • Ideal für Hersteller von Geräten für Knotenpunkte fortschrittlicher Technologien
  • Gewährleistung der Integrität elektrischer Spezifikationen von Geräten
  • Minimales Versagen der Ausfallsicherheit

Perlast G65HP Plasma Graph

Grafik oben: Testergebnisse zeigen immer wieder, dass Perlast® G65HP der plasmabeständige Werkstoff mit der besten Leistungsfähigkeit ist.


Typische Anwendungen
Für die Verwendung in verschiedenen kritischen Halbleiteranwendungen entwickelt. Geeignet für die Verwendung bei nassen und trockenen Halbleiterprozessen, einschließlich:

 Typische AnwendungenPlasmaätzenAsche-/Resist-StrippingLPCVD, HDPCVD, PECVD, SACVD, ALDReinigungPVD
 Dynamische DichtungenEinvulkanisierte Absperrschieber und AbsperrventilePendelventile   
Statische DichtungenKammer-O-RingeGaseinlassdichtungen GasdurchgangsdichtungenKammerdeckeldichtungen usw. NW/KF-Armaturen 

Precision Polymer Engineering bietet nicht nur Dichtungsmaterialien, sondern auch maßgefertigte technische Lösungen für kritische Dichtungsanwendungen an, um die Unversehrtheit und Langlebigkeit der Abdichtungen zu maximieren. Auf diese Weise werden die Kosten für Verbrauchsartikelmaterial gesenkt und das langfristige Potenzial für Aftermarket-Verkäufe gesteigert.

Was können wir für Sie tun? Kontaktieren Sie uns, um Ihre Dichtungsanforderungen fürHalbleiter mit uns zu besprechen.

  • FFKM-Sanitärdichtungen

    FFKM-Sanitärdichtungen sind vollständig fluoriert und wurden zur Bewältigung spezifischer Dichtungsherausforderungen in der Lebensmittel-, Molkerei-, Pharma- sowie der biomedizinischen und der Life-Science-Branche konzipiert.

    Perlast®, das ultimative Perfluorelastomer (FFKM), eignet sich ideal für SIP- und CIP-Reinigungsverfahren. FFKM-Sanitärdichtungen wurden für Dichtungsanwendungen entwickelt, bei denen die Beständigkeit gegenüber Chemikalien und hohen Temperaturen entscheidend ist. Sie halten Dampf, Aminen und Lösungsmitteln stand.

    Das einzigartige Vernetzungssystem, das bei allen Perlast® Klassen zum Einsatz kommt, gewährleistet die Kompatibilität mit nahezu allen Chemikalien. Die Molekülstruktur der Perlast® Perfluorelastomere ähnelt derjenigen von PTFE und bietet eine hervorragende Wärme- und Chemikalienbeständigkeit. Dies ermöglicht es Nutzern, sich für eine einzige Werkstoffklasse zu entscheiden, die alle Anwendungen abdeckt.

  • Metalldetektierbare Sanitärdichtungen

    Detectaseal® ist ein Sortiment metalldetektierbarer Elastomerverbindungen, die speziell für die strengen Anforderungen in der Pharmazie und bei der Lebensmittelverarbeitung entwickelt wurden. Detectaseal® Sanitärdichtungen wurden in branchenführenden Betrieben für die Herstellung von Pharmazeutika und Lebensmittelerzeugnissen getestet und haben sich in der Praxis bewährt. Fragmente von Detectaseal® mit einer Größe von lediglich 2 mm lassen sich mit Metalldetektionsgeräten ermitteln.

  • BS 4825 Größen für Sanitärdichtungen

    BS 4825 Sanitärdichtungen

    NenngrößeCE/S
    25,4 mm1 Zoll22,8 mm50,5 mm
    38,1 mm1 1/2 Zoll35,5 mm50,5 mm
    50,8 mm2 Zoll48,2 mm64 mm
    63,5 mm2 1/4 Zoll60,5 mm77,5 mm
    76,2 mm3 Zoll73,2 mm91 mm
    101,6 mm4 Zoll97,8 mm119 mm
    114,3 mm4 1/2 Zoll110,5 mm130 mm
    139,7 mm5 1/2 Zoll135,9 mm155 mm
    168,3 mm6 5/8 Zoll163,3 mm183 mm
    219,1 mm8 5/8 Zoll214,1 mm233,5 mm
  • DIN 32676 Größen für Sanitärdichtungen

    DIN 32676 Sanitärdichtungen

    NenngrößeCE/S
    10 mm10,2 mm34 mm
    15 mm16,2 mm34 mm
    20 mm20,2 mm34 mm
    25 mm26,2 mm50,5 mm
    32 mm32,2 mm50,5 mm
    40 mm38,2 mm50,5 mm
    50 mm50,2 mm64 mm
    65 mm66,2 mm91 mm
    80 mm81,2 mm106 mm
    100 mm100,2 mm119 mm
    125 mm125,2 mm155 mm
    150 mm150,2 mm183 mm
    200 mm200,2 mm233,5 mm
  • ISO 2852 Größen für Sanitärdichtungen

    ISO 2852 Sanitärdichtungen

    NenngrößeCS
    12 mm10,2 mm34 mm
    12,7 mm10,9 mm34 mm
    17,2 mm15,4 mm34 mm
    21,3 mm19,5 mm34 mm
    25 mm22,8 mm50,5 mm
    33,7 mm31,5 mm50,5 mm
    38 mm35,8 mm50,5 mm
    40 mm37,8 mm64 mm
    51 mm48,8 mm64 mm
    63,5 mm60,5 mm77,5 mm
    70 mm67 mm91 mm
    76,1 mm73,1 mm91 mm
    88,9 mm85,1 mm106 mm
    101,6 mm97,8 mm119 mm
    114,3 mm110,5 mm130 mm
    139,7 mm135,9 mm155 mm
    168,3 mm163,3 mm183 mm
    219,1 mm214,1 mm233,5 mm

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