Perlast Perfluorelastomere für Halbleiteranwendungen

PPE entwickelte bereits in den 90er Jahren die ersten hochreinen, lichtdurchlässigen Perlast®-Perfluorelastomertypen. Seitdem ist PPE führend in der Branche, indem es kontinuierlich neue FFKM-Materialien entwickelt hat, um dem Gesetz von Moore immer einen Schritt voraus zu sein, einschließlich unseres neuesten Materials Perlast® Helios G7HA.

Unser Angebot an Perlast®-Perfluorelastomermaterialien für Halbleiteranwendungen ist auf dem neuesten Stand der Polymertechnologie. Sie wurden entwickelt, um überlegene Dichtungslösungen mit verbesserter Leistung und verbesserter Funktionalität anzubieten, die die folgenden nachgewiesenen Vorteile bieten:

• Verlängerte Systembetriebszeit durch längere Lebensdauer der Dichtung im Betrieb
• Reduzierte Ausfallzeiten von Maschinen und Anlagen
• Erweiterte geplante Wartungsintervalle (PM) für Maschinen/Anlagen
• Optimierte Prozessbedingungen, die zu einer höheren Maschinen- und Anlagenleistung führen
• Reduzierte Prozesskontamination
• Minimierte Gesamtbetriebskosten (CoO) durch reduzierte Kosten für Verbrauchsmaterialien (CoC)

Perlast® Halbleiter-FFKM-Typen bieten nachweislich die niedrigsten Partikel- und Spurenmetallkontaminationen bei minimiertem Ertragsverlust und niedrigen chemischen Erosionsraten.

Welcher Perlast®-Typ?

Die Empfehlung für Elastomermaterial ist abhängig von der Prozesschemie, der Temperatur, dem spezifischen Hardware-Standort, der Nähe zum Substrat, dem herzustellenden Gerätetyp und dem Technologieknoten.  Erfahren Sie, welche Perlast ®-Perfluorelastomermaterialien für thermische, plasma- und nasschemische Halbleiterprozesse empfohlen werden.

O-Ringe und Dichtungen in Perlast®-Halbleiterqualität werden ausschließlich in den Reinräumen von PPE in Blackburn, Großbritannien und Brenham, Texas, hergestellt.  Perlast®-Perfluorelastomere sind als voll geformte Komponenten erhältlich, einschließlich O-Ringe, KF/ISO/NW-Fittings, End-Effektor-Pads und kundenspezifische Komponenten.

Wie können wir Ihnen helfen?   Unsere Halbleiter-Dichtungsexperten helfen Ihnen gerne weiter. Wenden Sie sich direkt an PPE oder suchen Sie Ihren nächstgelegenen Vertriebskontakt.