Bei der Halbleiter-Herstellung ist eine Kontamination durch Partikel bei allen Prozessschritten eine ernsthafte Bedrohung für Ertrag und Rendite. Dabei geht es nicht nur um die Gesamtanzahl der Partikel, auch die Partikelgröße kann eine wesentliche Rolle spielen.
Zu den wichtigsten Technologien gehören Vakuumprozesse wie Trockenätzung und Beschichtung, bei denen wiederum Elastomerdichtungen zum Einsatz kommen, um das Vakuum aufrechtzuerhalten. Dichtungen an wesentlichen Stellen (im direkten Kontakt mit dem Prozess und relativ nahe am Substrat) werden häufig sehr aggressiven Chemikalien und schwankenden Temperaturen ausgesetzt. Die Dichtungen müssen sich für die Wartungsintervalle des Werkzeugs eignen und nicht zum einschränkenden Faktor dafür werden, wann mechanische Interventionen oder arbeitsintensive Abschaltungen notwendig sind. Außerdem darf die Dichtung nicht zu Ertragsminderungen führen, weil sie von möglicherweise entstehenden Nebenprodukten erodiert würde.
Die Auswahl der verfügbaren Dichtungswerkstoffe wirkt auf Anwender oft abschreckend. Ohne den Luxus einer eigenen Prüfkammer oder Mikrochip-Fertigungsausstattung für das Testen zahlreicher Dichtungswerkstoffe für verschiedenste Anwendungen wird die Wahl zum potenziellen Risiko – besonders dann, wenn die Dichtung in einem in Betrieb befindlichen Produkt gewechselt und durch eine neue ersetzt werden muss. Deswegen ist es wichtig, dass die Anstrengungen mit einer Einsparung einhergehen, die sich am Risiko oder der erforderlichen Ressource für eine solche Prüfung orientiert.
Damit das Risiko einer falschen Dichtungswahl minimiert wird (die zu beschädigten Produkten oder verschwendeten Prüfressourcen führen kann), wurde eine umfassende Studie durchgeführt, die die Dichtungswerkstoffe führender Elastomer-O-Ring-Lieferanten bewertete. Die Erstellung und Pflege dieser Datenbank ermöglicht eine Risikominderung beim Austauschen von Dichtungswerkstoffen zur Senkung der Rüstkosten und Steigerung von Ertrag und Wettbewerbsfähigkeit.
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