Nanofluor

Nanofluor^® Elastomere können als Hybridwerkstoffe betrachtet werden, die eine Lücke schließen zwischen den günstigen Fluorelastomeren (FKM) und den kostspieligen Polymerarten der Perfluorelastomere (FFKM).

Dieses Sortiment bietet einen vollständig organischen Werkstoff mit extrem niedriger Ausgasung und eine anorganische Klasse, die mit einem einzigartigen Nano-Füller versehen ist, um die Erosionsrate zu verringern. Der nano-gefüllte Werkstoff zeigt eine chemische Reaktionsträgheit, die es sonst nur bei wesentlich kostspieligeren FFKM-Klassen gibt, und wurde für Prozesse wie Plasma-Ashing oder Resist-Stripping sowie Chlor- und CxFy-basiertes Ätzen entwickelt.

Elastomerdichtungen aus den Werkstoffen der

Nanofluor^® Klassen zeigen im Vergleich ausgesprochen wenig Verunreinigungen durch Spurenmetalle und extrem niedrige Permeationsraten.

Wichtige Werkstoffeigenschaften:

• Hochrein mit äußerst geringen Verunreinigungen durch Spurenmetalle, die zu Problemen bei der elektrischen Ausbeute führen könnten.
• Hervorragende Plasmabeständigkeit – eignet sich ideal für die meisten Plasmachemikalien, ausgenommen Prozesse mit vielen Fluor-Radikalen.
• Plasmabeständigkeit vergleichbar oder besser als viele konkurrierende, reine FFKM-Klassen
• Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient
• Lässt sich nachträglich in bereits vorhandene O-Ring-Nuten (einschließlich FKM- und FFKM-Nuten) einsetzen
• Niedrige Permeationsrate
• Geringe Ausgasung

Nanofluor^® ist eine eingetragene Marke von Precision Polymer Engineering Ltd

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