Halbleiter, Flachbildschirme und Solar

Abscheidung, Ätzen, Asche/Ablösung, Plasma und thermische Bearbeitung oder Glühen sind synergistische Verarbeitungsverfahren mit chemischen Umgebungen, die Elastomer-Dichtungsmaterialien sehr stark beanspruchen. Sie werden häufig verwendet bei der Herstellung von:

• Integrierten Halbleiterschaltungen
• Flachbildschirmen (FPD)
• Solarzellen (kristalline, multikristalline, Konzentrator)
• MEMS (Mikro-elektronische mechanische Systeme)
• LED/OLED

PPE liefert im Reinraum gefertigte Dichtungen mit einer geringen Partikel- und Spurenmetallkontamination für minimierte Ertragsausfälle und niedrige chemische Erosionsraten, die folgende Vorteile bieten:

• Längere Anlagenverfügbarkeit
• Längerer mittlerer Ausfallabstand (Mean Time Between Failure, MTBF)
• Geringere Häufigkeit von Nassreinigungen oder mechanischen Reinigungen
• Minimierte Betriebskosten (Cost of Ownership, CoO) durch geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien (Cost of Consumables, CoC)

Die Empfehlung für einen Elastomerwerkstoff richtet sich nach den verwendeten Prozesschemikalien, der Temperatur, der spezifischen Montageteilposition, der Nähe zum Substrat, dem gefertigten Gerätetyp und dem Technologieknoten. PPE bietet mit seinen Sortimenten Perlast^®, Kimura^® und Nanofluor^® eine große Bandbreite an Werkstoffen an und kann das perfekte Material kompetent an Prozessart, Systemstandort und Komplexität des Endverbraucherprodukts anpassen.  

Für raue Plasmaanwendungen hat PPE einzigartige nano-gefüllte Werkstoffe entwickelt, die eine erheblich bessere Leistung erbringen als alle anderen auf dem Markt erhältlichen Dichtungsmaterialien.

Finden Sie heraus, welche PPE-Werkstoffe für thermische, Plasma- und nasschemische Verfahren empfohlen werden.

Das Halbleiter-Produktsortiment von PPE umfasst O-Ringe, Schlitzventilschieber, KF/ISO/NW Fittings, Endeffektor-Pads und kundenspezifische Komponenten.

 Was können wir für Sie tun?  Kontaktieren Sie unsere Halbleiter-Dichtungsexperten.