Nasschemische Verfahren

Einschließlich elektrischer oder elektrochemischer Abscheidung

Nasschemie wird nach wie vor bei der Verarbeitung von Wafern und Substraten verwendet und kommt vorrangig bei zwei wichtigen Aufgaben zum Einsatz:

1. Entfernen von organischen, Oxid- oder metallischen und ionischen Verunreinigungen während verschiedener Phasen des Herstellungsprozesses. Zu diesen Prozessen zählen RCA oder SC1- und SC2-Reinigungen und Nass-Resist-Stripping.
2. Aufbringen von Kupfer bei der Interconnect- oder 3D-Packung, das eine elektrochemische oder elektrische Abscheidung erfordert.

Abgesehen von einer hohen Beständigkeit gegenüber bestimmten Chemikalien dürfen Dichtungsmaterialien die Reinigungs- oder Stripping-Flüssigkeiten auf keinen Fall durch den Eintrag von organischen Stoffen oder Spurenmetallen verunreinigen.

Die richtige Auswahl der von PPE empfohlenen Produkte bietet folgende Vorteile:

• Kostenoptimierte Empfehlung je nach Anwendung
• Niedrige chemische Erosionsraten
• Geringe Verunreinigung durch Spurenmetalle
• Niedrige Partikelfreisetzung an entscheidenden Stellen
• Weniger Löcher/Poren bei dünn-gebondeten Elastomerwerkstoff-Anwendungen
• Minimale Auswirkungen auf die Ausbeute der Geräten und der elektrischen Energie
• Minimierter Kupfer-Plate-up bei elektrochemischer Abscheidung (ECD)
• Geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien (CoC)  

In der nachstehenden Tabelle finden Sie die von PPE empfohlenen und kompatiblen Elastomerwerkstoffklassen.  Die primären Klassen sind auf kritische Systeme/Werkzeug-Locations ausgerichtet.  Weiterführende Unterstützung bei der richtigen Auswahl von Dichtungen erhalten Sie beim Vertriebspartner in Ihrer Nähe.