Precision Polymer Engineering (PPE), einer der weltweit führenden Hersteller von hochleistungsfähigen, geformten Elastomerdichtungen und O-Ringen, wird diese Woche auf der SEMICON West 2017 zwei neue Werkstoffklassen auf den Markt bringen.
Die neuen Werkstoffe tragen die Bezeichnungen Perlast® G65HP und Perlast® G67G und sind Perfluorelastomere (FFKM), die aufgrund ihrer Zusammensetzung niedrige Plasmaerosionsraten und eine erhöhte Dichtungslebensdauer bei minimaler Partikelbildung aufweisen. Eingehende Prüfungen mit verschiedenen Plasmaumgebungen und Plasmaquellen haben ergeben, dass die neuen Materialien besser abschneiden als ihre engsten Konkurrenten, wobei die Erosionsraten in einigen Fällen um 30 % reduziert wurden.
Beide Werkstoffe haben einen niedrigen Spurenmetallgehalt, was die Gefahr von geringer Leistung und Garantieausfällen reduziert. Darüber hinaus enthält der Typ Perlast® G67G geringe Mengen hochentwickelter Nano-Partikel-Füllstoffe. Daher kann davon ausgegangen werden, dass Partikelagglomerationen oder Verunreinigungen durch große Partikel eher unwahrscheinlich sind.
PPE hat die neuen hochreinen Werkstoffe entwickelt, um den Anforderungen kritischer Anwendungen gerecht zu werden, bei denen die Dichtungen direkt den Prozessmedien ausgesetzt sind. Man geht bei ihnen von einer längeren Lebensdauer aus, die mit den derzeitigen Wartungszyklen kompatibel ist und die möglicherweise die Betriebszeit der Prozesswerkzeuge erhöht und die Kosten für Verbrauchsmaterialien insgesamt senkt.
Perlast® G65HP weist eine einzigartige organische Formulierung auf, die speziell für kritische Halbleiterprozesse entwickelt wurde, bei denen die Dichtungen direkt mit Plasma in Kontakt kommen. Diese neue Werkstoffklasse zeigt eine hervorragende Beständigkeit in Plasma mit einer hohen Konzentration an Fluor-Radikalen wie auch in anderen Plasmaumgebungen. Mit seiner 100 % organischen Struktur minimiert Perlast® G65HP das Risiko der Partikelbildung und führt zu längeren Wartungsintervallen. Darüber hinaus eignet sich dieses Material mit einem Spurenmetallgehalt von weniger als 10.000 Teilen pro Milliarde ideal für Hersteller von Geräten für Knotenpunkte fortschrittlicher Technologien und für solche, die Integrität der elektrischen Spezifikationen der Geräte und minimale Zuverlässigkeitsfehler als ein Muss betrachten.
Perlast® G67G wurde für hervorragende Beständigkeit gegenüber aggressivem Sauerstoff, Chlor und Plasma auf Fluorbasis formuliert. Diese Merkmale in Kombination mit einer hervorragenden thermischen und mechanischen Beständigkeit und geringer Partikelbildung sorgen dafür, dass sich Perlast® G67G ideal für Nass- und Trockenätz-, Stripping-, Reinigungs- und PVD-Prozesse eignet.
Die bei der Halbleiterproduktion herrschenden Bedingungen gehören zu den aggressivsten, mit denen Dichtungen konfrontiert werden, und die Hersteller von Originalausrüstungen sind unablässig auf der Suche nach fortschrittlicheren Dichtungsmaterialien. Mit den Werkstofftypen G65HP und G67G hat PPE zwei plasmabeständige, nano-gefüllte Elastomer-Dichtungswerkstoffe geschaffen, die beide eine einzigartige und prozessoptimierte Dichtungslösung für viele Halbleiter-Prozessanwendungen darstellen. Die Materialien wurden ausgiebig und in mehreren gängigen Plasmachemikalien getestet und mit marktführenden Werkstoffen verglichen. Das Ergebnis ist der Nachweis der überragenden Leistungen der neuen Werkstoffe.
Dr. Murat Gulcur, Produktmanager für Halbleiter bei PPE, kommentierte die Einführung der neuen Materialien: „PPE sieht seine Aufgabe in der Entwicklung immer widerstandsfähigerer Halbleitermaterialien, um unsere Kunden bei der Lösung von Dichtungsproblemen zu unterstützen, die hauptsächlich mit der Miniaturisierung des Chip-Marktes bei einer Reihe entscheidender Anwendungen zusammenhängen. Aggressive Plasmachemikalien waren schon immer ein zentrales Problem unserer Kunden. Wir sind überzeugt, dass wir mit den umfangreichen Tests und der anschließenden Markteinführung von Perlast® G65HP und Perlast® G67G alle anderen Elastomer-Dichtungstechnologien hinter uns lassen und unseren Kunden die besten Leistungen der Branche bei gleichen Bedingungen und gleichzeitigen erheblichen Kosteneinsparungen bieten können.“
PPE war auf der SEMICON West 2017 in San Francisco vom 11. bis zum 13. Juli präsent.
Wenn Sie weitere Informationen über die Halbleiterkapazitäten von PPE benötigen, wenden Sie sich unter +44 (0)1254 295400 an einen Vertriebsmitarbeiter, besuchen Sie die Unternehmens-Website de.prepol.com, oder schreiben Sie eine E-Mail an [email protected]
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