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Nano-gefüllte Werkstoffe

Die hochgradig plasmabeständigen, nano-gefüllten Werkstoffe sind eine einzigartige und prozessoptimierte Dichtungslösung für viele Halbleiter-Prozessanwendungen.

Erhältlich als O-Ringe und in anderen Dichtungsformen, dienen die nano-gefüllten Werkstoffe dem Einsatz in kritischen Anwendungen, bei denen die Dichtung direkt mit den Chemikalien in Kontakt kommt:

  • Alle Tool-Positionen kommen mit Plasma in Kontakt
  • Kammerdeckeldichtung
  • Kammerfensterdichtungen
  • Plasmaquelle
  • Schutz kritischer Komponenten 

Die einzigartigen Formulierungen der Werkstoffe gewährleisten niedrige Plasmaerosionsraten und eine erhöhte Lebensdauer der Dichtungen. Die Kombination mit einem geringen Gehalt an Spurenmetallen verringert das Risiko einer niedrigeren Ausbeute sowie von Garantieausfällen.

Nano-gefüllte Werkstoffe:

Nanofluor® Y75G ist ein hochfluoriertes Elastomer, das relativ geringe Mengen eines fortschrittlichen Nanopartikel-Füllsystems enthält. Auf diese Weise einsteht ein sauberer Compound, der speziell für eine minimale Partikelbildung entwickelt wurde und außerdem eine hervorragende Beständigkeit gegen aggressiven Sauerstoff und Fluorplasma aufweist. Der Werkstoff wurde für die Verwendung an kritischen Orten formuliert, an denen die Dichtung direkt der chemischen Umgebung ausgesetzt sein kann.

Perlast® G67G ist ein Perfluorelastomer mit geringen Mengen eines fortschrittlichen Nanopartikel-Füllsystems. Es ist ein sauberer Compound, der speziell für eine minimale Partikelbildung entwickelt wurde und außerdem eine hervorragende Beständigkeit gegen aggressiven Sauerstoff, Chlor- und Fluorplasma aufweist. Der Werkstoff wurde für die Verwendung an kritischen Orten formuliert, an denen die Dichtung direkt der chemischen Umgebung ausgesetzt sein kann.

Beide nano-gefüllten Werkstoffe wurden mit einem geringen Mengenanteil eines Nanopartikel-Füllers formuliert, und es wurde eine niedrige Füllpartikelagglomeration erzielt, wodurch das Risiko der Partikelbildung bzw. größerer Partikelkontaminationen minimiert wird.

SEM Image Nano-filled materials

Diese Werkstoffe sind gezielt so entwickelt, dass sie rauen Plasmabedingungen widerstehen und eine erheblich bessere Leistung erbringen als alle anderen Dichtungsmaterialien.

Vorteile:

  • Hochreiner anorganischer Füllstoff
  • Durchschnittliche Partikelgröße von 35 nm
  • Maximale Plasmabeständigkeit
  • Hochreines Basispolymer
  • Geringes Risiko einer Reduzierung der Ausbeute
  • Erhalt der elektrischen Merkmale des Geräts
  • Geringe Kosten für Verbrauchsmaterialien
  • Niedrige Konzentration des Nanopartikel-Füllsystems
  • Compound mit niedriger Agglomerationsrate

 

Weight Loss Upon Plasma Exposure Graph

Die Bereitstellung eines geeigneten Dichtungsmaterials ist entscheidend, um Verunreinigungen der Wafer und einer Verringerung der Ausbeute vorzubeugen. Darüber hinaus ist es wichtig, die Dichtungslebensdauer mit den bestehenden Wartungszyklen abzugleichen, da dies die Produktivitätsdauer des Prozesswerkzeugs oder der Betriebszeit verlängert und die Kosten für Verbrauchsmaterialien senkt.

Precision Polymer Engineering bietet nicht nur Dichtungsmaterialien, sondern auch maßgefertigte technische Lösungen für kritische Dichtungsanwendungen an, um die Unversehrtheit und Langlebigkeit der Abdichtungen zu maximieren. Auf diese Weise werden die Kosten für Verbrauchsartikelmaterial gesenkt und der Aftermarket-Vertrieb angekurbelt.

Was können wir für Sie tun? Kontaktieren Sie uns, um Ihre Dichtungsanforderungen für Halbleiteranwendungen mit uns zu besprechen.

  • Schwerlastkappe
    • Der Querschnitt der Dichtkappe ist dicker und eignet sich für die Verwendung mit hohen Drücken bis zu 40 MPa
    • Es ist eine atypische Nut für den Einbau erforderlich
    • Der dickere Querschnitt ermöglicht aufgrund der höheren Dichtkräfte einen größeren Verschleiß
  • Kappe mit flachem Profil
    • Im Allgemeinen für leichte bis mittelschwere Anwendungen
    • Kann nachträglich in standardmäßige O-Ring-Nuten eingesetzt werden
    • Bietet aufgrund der geringeren Dichtkräfte eine gute Verschleißfestigkeit und weniger Reibung

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