Perlast Perfluorelastomere für Halbleiteranwendungen
PPE entwickelte bereits in den 90er Jahren die ersten hochreinen, lichtdurchlässigen Perlast®-Perfluorelastomertypen. Seitdem ist PPE führend in der Branche, indem es kontinuierlich neue FFKM-Materialien entwickelt hat, um dem Gesetz von Moore immer einen Schritt voraus zu sein, einschließlich unseres neuesten Materials Perlast® Helios G7HA.
Unser Angebot an Perlast®-Perfluorelastomermaterialien für Halbleiteranwendungen ist auf dem neuesten Stand der Polymertechnologie. Sie wurden entwickelt, um überlegene Dichtungslösungen mit verbesserter Leistung und verbesserter Funktionalität anzubieten, die die folgenden nachgewiesenen Vorteile bieten:
- Verlängerte Systembetriebszeit durch längere Lebensdauer der Dichtung im Betrieb
- Reduzierte Ausfallzeiten von Maschinen und Anlagen
- Erweiterte geplante Wartungsintervalle (PM) für Maschinen/Anlagen
- Optimierte Prozessbedingungen, die zu einer höheren Maschinen- und Anlagenleistung führen
- Reduzierte Prozesskontamination
- Minimierte Gesamtbetriebskosten (CoO) durch reduzierte Kosten für Verbrauchsmaterialien (CoC)
Perlast® Halbleiter-FFKM-Typen bieten nachweislich die niedrigsten Partikel- und Spurenmetallkontaminationen bei minimiertem Ertragsverlust und niedrigen chemischen Erosionsraten.
Welcher Perlast®-Typ?
Die Empfehlung für Elastomermaterial ist abhängig von der Prozesschemie, der Temperatur, dem spezifischen Hardware-Standort, der Nähe zum Substrat, dem herzustellenden Gerätetyp und dem Technologieknoten. Erfahren Sie, welche Perlast ®-Perfluorelastomermaterialien für thermische, plasma- und nasschemische Halbleiterprozesse empfohlen werden.
O-Ringe und Dichtungen in Perlast®-Halbleiterqualität werden ausschließlich in den Reinräumen von PPE in Blackburn, Großbritannien und Brenham, Texas, hergestellt. Perlast®-Perfluorelastomere sind als voll geformte Komponenten erhältlich, einschließlich O-Ringe, KF/ISO/NW-Fittings, End-Effektor-Pads und kundenspezifische Komponenten.
Wie können wir Ihnen helfen? Unsere Halbleiter-Dichtungsexperten helfen Ihnen gerne weiter. Wenden Sie sich direkt an PPE oder suchen Sie Ihren nächstgelegenen Vertriebskontakt.
Halbleiterprozesse
Erfahren Sie, welche Perlast ®-Materialien für Halbleiterprozesse empfohlen werden